光学3d轮廓仪-快速尺寸测量仪器-在机测量系统-深圳市中图仪器股份有限公司

以激光干涉技術(shù)為核心，SJ6000激光干涉儀機(jī)床精度測(cè)試的分辨率可達(dá)納米級(jí)。有測(cè)量機(jī)床回轉(zhuǎn)軸精度、直線度、線性、運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、定位精度、垂直度等檢測(cè)功能，且可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表，滿足機(jī)床誤差修正的要求。

中圖儀器的國(guó)產(chǎn)sj6000激光干涉儀具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)平行度、線性測(cè)長(zhǎng)、直線度、垂直度、角度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。在動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下，還可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè)，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。

SJ6000激光干涉儀量程精度高，可以棄普通車間進(jìn)行應(yīng)用，環(huán)境適應(yīng)能力強(qiáng)，同時(shí)可進(jìn)行動(dòng)態(tài)高速測(cè)量，配以相應(yīng)元件后還可以測(cè)量線速度、角度、平面度、振動(dòng)幅度及速度等。

SJ6000機(jī)床設(shè)備激光干涉儀品牌以光波為載體，其光波波長(zhǎng)直接對(duì)米進(jìn)行定義，廣泛應(yīng)用于機(jī)床、精密機(jī)械設(shè)備、3D打印設(shè)備、自動(dòng)化設(shè)備、三坐標(biāo)、機(jī)器人、線性位移平臺(tái)、精密檢測(cè)儀器等領(lǐng)域的線性測(cè)量，是高精度、高靈敏度測(cè)量?jī)x器。

精密激光干涉儀具有豐富的模塊化組件，可根據(jù)具體測(cè)量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)。

國(guó)產(chǎn)激光干涉儀集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體，產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器，其壽命可達(dá)50000小時(shí)；采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高精度、抗干擾能力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；

機(jī)床激光干涉儀以光波為載體，其光波波長(zhǎng)可以直接對(duì)米進(jìn)行定義，且可以溯源至國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，是高精度、高靈敏度的測(cè)量?jī)x器，在制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。

SJ6000國(guó)產(chǎn)激光干涉儀可實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等多幾何參量的高精密測(cè)量，用于檢測(cè)數(shù)控機(jī)床、自動(dòng)化設(shè)備、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等，以及進(jìn)行數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的精度補(bǔ)償。